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有机材料蒸镀制备
有机材料蒸镀制备
有机材料蒸镀制备
简而言之,有机材料蒸镀是指把各种组合的有机材料按一定的顺序﹑结构均匀的蒸镀到已光刻好的ITO玻璃(基片)上,有机蒸镀腔体包括传送装置、蒸镀腔体、托盘、传送箱与真空腔体之间的阀门(valve)、转盘机械手臂、大挡板(main shutter)、小挡板(source shutter)、PBN坩锅、加热源、晶振片、厚度检测系统、机械泵、冷泵(低温泵)、维修口、观察窗、PLC电机、N2充入阀门、粗真空表、高真空表等。以上文字内容属原创,请勿任意转载及复制,否则视同侵权。