电子束蒸发源家族包括水平方向安装的单口及多口电子束蒸发源,以及可从竖直方向安装的小型电子束蒸发源。
线性多层炉特高压蒸发器,完整的全金属特高压密封型设计,低出气。烘烤温度200°C,蒸发源法兰中心对齐,多种语言选择,灵活的光学定位,炉卷8厘米³(x4或x6);15厘米³(x3或x6)灯丝寿命长为270°梁的挠度高频率光束偏转系统。